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11月25日,上海芯上微装科技股份有限公司(AMIES)再传捷报:公司自主研发的首台350nm步进光刻机(AST6200)正式完成出厂调试与验收,广盛网启程发往客户现场,标志着我国在高端半导体光刻设备领域再次实现关键突破。
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